Semicera's10x10mm Nonpolar M-planum Aluminium Substratumhoc adamussim ordinatur ad exigendas applicationes optoelectronic progressarum requisitis. Haec subiecta lineamenta a propensione nonpolar M-plana, quae critica est ad reducendos effectus polarizationis in machinis qualia sunt LEDs et laser diodes, ducens ad auctam effectionem et efficientiam.
The10x10mm Nonpolar M-planum Aluminium Substratumeximii qualitatis crystallinae ficti sunt, ut minimi defectus densitates et structurae integritatis superior. Hoc facit specimen electionis pro incremento epitaxiali altae qualitatis III-nitridis pelliculae, quae necessariae sunt ad progressionem machinis optoelectronic generationis proximae.
Praecisio semicera ipsum efficit ut quisque10x10mm Nonpolar M-planum Aluminium Substratumcrassitudinem constantem et planiciem superficiei offert, quae pendet uniformis pelliculae depositionis et fabricae fabricationis. Praeterea magnitudo compacta subiecti eam aptam facit ad ambitus tam inquisitionis quam productionis, praebens flexibilem usum in variis applicationibus. Praeclara scelerisque et chemicae stabilitatis, hoc subiectum certum fundamentum praebet ad technologias optoelectronicas incisurae evolutionis.
| Items | Productio | Inquisitionis | phantasma |
| Crystal Parameters | |||
| Polytypus | 4H | ||
| Superficiem sexualis errore | <11-20 >4±0.15° | ||
| Electrical Parameters | |||
| Dopant | n-genus Nitrogenium | ||
| Resistentia | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Mechanica Parametri | |||
| Diameter | 150.0±0.2mm | ||
| Crassitudo | 350±25 μm | ||
| Prima plana propensionis | [1-100]±5° | ||
| Prima plana longitudo | 47.5±1.5mm | ||
| Secundarium plana | Nullus | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| Arcum | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Frons (Si-face) asperitas (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structure | |||
| Micropipe density | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metallum immunditiae | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Ante Quality | |||
| Front | Si | ||
| Superficiem metam | Si-face CMP | ||
| Particulas | ≤60ea/laganum (size≥0.3μm) | NA | |
| Exasperat | ≤5ea/mm. Cumulativo longitudo ≤Diameter | Cumulative length≤2*Diameter | NA |
| Orange cortices / foveas / maculas / striations / rimas / contagione | Nullus | NA | |
| Ora eu / indents / fractura / hex p | Nullus | ||
| Polytypus areis | Nullus | Cumulativo area≤20% | Cumulativo area≤30% |
| Ante laser vestigium | Nullus | ||
| Back Quality | |||
| Retro metam | C-faciem CMP | ||
| Exasperat | ≤5ea/mm,Cumulative length≤2*Diameter | NA | |
| Retro defectus (ore eu / indents) | Nullus | ||
| Retro asperitatem | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Back laser notati | I mm (a summo ore) | ||
| Ore | |||
| Ore | Chamfer | ||
| Packaging | |||
| Packaging | Epi-paratum in vacuo packaging Multi laganum cassette packaging | ||
| *Nota "NA" significat petitionem nullam Items not mentioned may refer to SEMI-STD. | |||
