In fabricando semiconductore, ars vocatur "etching" in processu subiectae vel tenuis pelliculae quae in subiecto formatur. Explicatio technologiae et technologiae perspiciendo praenuntiationem ab Intel Conditore Gordon Moore anno 1965 factam intellexit quod "densitas transistorum integratio duplicabitur in 1.5 ad 2 annos" (vulgo "Lex Moore").
Etching non est processus "additio", sicut depositio vel compages, sed processus "subtractivus". Praeterea, secundum diversos radendi modos, in duo genera dividitur, scilicet "humidum et enigmata" et "arida et enigmata". Ut simpliciter ponatur, illa methodus liquescens, haec fodiendi modus est.
In hoc articulo breviter exponemus qualitates et differentias singularum technologiarum technologiarum, humidarum et enarratio et arida engraving, nec non applicationes regionum pro quibus unumquodque conveniens est.
Overview of engraving process
Technologiae Etching technologiam medio 15th saeculo in Europa ortam esse dicitur. Quo tempore acidum in laminam aeneam insculptam infunditur ut cuprum nudum exederet, quod intaglio formabat. Artificia curationum superficies quae corrosionis effectibus abutuntur, notae sunt "etching".
Propositum etching processum in fabricando semiconductore est subiectum vel cinematographicum secundum extractionem secare. Gradibus praeparatoriis cinematographici cinematographici, photolithographiae et engraving iterando, structuram planarem in tres dimensivas structuras processit.
Differentia inter humidum etching et siccum etching
Post processum photolithographiae, subiecta subiecta humida vel sicca, in processu engraving.
Infectum engraving solutionem adhibet ad SCELERO et eraditam superficiem. Quamvis haec methodus cito et viliter discurrere possit, incommodum tamen est quod accuratio processus leviter inferior est. Ideo arida etching nata circa annum 1970. Sicca etingatio solutione non utitur, sed gas ad superficiem subiectam feriendam adhibet ut eam scalpam, quae altae accurationis processus insignitur.
"Isotropy" et "Anisotropy"
Cum differentiam inter aridum et ingurgitationem et unctionem introducamus, essentialia verba sunt "isotropica" et "anisotropica". Isotropia significat proprietates physicas materiae et spatii non mutare directionem, et anisotropia significat physica materiae et spatii cum directione variari.
Anisotropica engraving significat eandem quantitatem circa punctum certum procedens, et anisotropica etingiscentia significat enatum in diversa circa punctum certum. Exempli gratia, in etching semiconductore in fabricando, anisotropica etingistio saepe ita eligitur ut solum directionis scopo abrasa sit, alias partes integras relinquens.
Imagines "Isotropic Etch" et "Anisotropic Etch"
Infectum engraving utens oeconomiae.
Infectum engraving adhibet reactionem chemicam inter chemicam et subiectam. Cum hoc modo, anisotropica ethicas non est impossibilis, sed multo difficilior est quam isotropica etingis. Multae sunt restrictiones in compositione solutionum et materiarum, et condiciones ut temperatura subiecta, coniunctio solutionis, et additionis quantitas stricte coerceri debet.
Condiciones utcumque subtiliter adaptantur, infectum etingificatio difficile est ad tenuis processus infra 1 µm pervenire. Una ratio est de necessitate moderandi hinc inde engraving.
Undercutting phaenomenon est etiam undercutting notum. Etiamsi sperandum est materiam dissolvi solum in directum directum (profundum) per humidum etching, impossibile est omnino impedire solutionem laterum feriendi, ut dissolutio materiae in directum parallelum inevitabiliter procedat; . Ob hoc phaenomenon humida et tesca passim sectiones efficit angustiores quam scopo latitudinis. Hoc modo, cum processus emendandi quae accuratam vim hodiernam requirunt, reproducibilitas gravis est et accuratio ambigui.
Exempla possibilium in umida Etching
Cur arida engraving ad micromachining aptum est
Descriptio Artis aridae etchingae affinis ad anisotropicam etchingam accommodata adhibetur in processibus semiconductoribus fabricandis qui processus subtilitatis altae requirunt. Arida etching saepe refertur ad reactivum ion etching (RIE), quod etiam plasma etching et putris etching in lato sensu comprehendere possunt, sed hic articulus in RIE focus erit.
Explicare cur anisotropica etingatio facilius cum siccis etching, propius inspiciamus RIE processum. Facile est intellegere dividendo processum ariditatis et enchiridion et abiectionem subiecti in duo genera: "Chemicam engraving" et "physicam etching".
In tribus gradibus chemica engraving. Primum, vapores reciproci in superficie adsorbentur. Reactio producta tunc ex reactione gas et materia substrata formatur, et demum motus productorum corrumpitur. In sequenti physica engraving, substrata verticaliter deorsum figitur, applicando gasi argonis verticali ad subjectum.
Censura chemica est isotropice, cum autem physica etingistio anisotropice fieri potest directionem applicationis gasi moderando. Hanc ob rem physicam engraving, arida Cessuratio magis permittit potestatem esciculationis directionis quam humidum engraving.
Arida et umida et enigmata etiam easdem strictas condiciones cum humido etching requirit, sed altiorem reproducibilitatem quam umida et enigmata habet et multa faciliora ad continentem item. Ideo dubium non est quin arida engraving magis ad productionem industriae conducat.
Quid Infectum Etching adhuc opus est
Cum intelligas omnipotentem videri aridam engraving, mirari potes quare humidum et engraving adhuc existit. Ratio autem simplex est: humidum engraving facit productum vilius.
Summa differentia inter aridum et enchiridion et humidum et enchiridion est gratuita. Chemicae usus in uliginosis etching non sunt pretiosae, et pretium ipsum apparatum dicitur esse circiter 1/10 illius instrumenti aridi etingificationis. Praeterea processus temporis breve et multiplex subiecta simul discursum esse potest, productio gratuita reducendo. Quam ob rem productum sumptus humiles servare possumus, commodum nobis praebentes super competitores nostros. Si requisita accurationis expediendae altae non sunt, multae societates umida fabricandi molem asperam eligent.
Processus engraving introductus est sicut processus qui munus in technologia microfabricationis exercet. Cessuratio processus rigide dividitur in humidum etching et siccum et engraving. Si sumptus magni momenti est, illud melius est, et si microprocessus infra 1 µm requiritur, haec melior est. Specimen processus eligi potest ex facto producendi et sumptus, quam quis sit melior.
Post tempus: Apr-16-2024