In plasma etching apparatu, ceramicae partes cruciales partes agunt, inclusa thecafocus annulum.The focus annulumcirca laganum immediatum cum eo positum, necesse est ut plasma laganum in intentione anuli applicando ponatur. Hoc auget uniformitatem processus esculentiae.
Application of Sic Focus Annulorum in Etching Machines
Sic CVD componentsin machinis engraving, utfocus annulos, gas showerheads, platens et annuli margines faventes ob reactivitatem humilis chlorine et fluorino fundato etching gasorum et eius conductivity, eamque aptam materiam pro plasmate etingingi instrumento faciendo.
Commoda Sic ut Focus Ring Material
Ob directam expositionem plasmatis in cubiculi reactionis vacuo, anuli focus efficiendi sunt ex materia repugnantia plasma. Anuli umbilici traditi, e siliconis vel vicus factis, laborantes etingificatione resistentia in fluorino substructio plasmas laborantes, ducens ad corrosionem celeri et efficientiam reductam.
Comparatio Inter Si et CVD SiC Focus Annulorum:
1. superior densitas;Reduces engraving volumen.
2. Bandgap Lata: Nulla praeclara praebet.
3. Maximum Scelerisque Conductivity & Low Expansion Coefficient: Scelerisque inpulsa repugnans.
4. High Elasticitas:Bona resistentia ad impulsum mechanicum.
5. Alta duritia; Vigere et corrosio repugnans.
SiC electricam conductivity Pii communicat dum resistentiam superiori cum ionica etching. Cum progressionis ambitus miniaturizationis integratur, postulatio plurium processuum efficax et ingluvies augetur. Plasma etching instrumentum, praesertim plasma CCP coniunctum capacitivum utentes, altam industriam plasma requirunt, faciensSiC focus annulosmagisque vulg.
Si et CVD SiC Focus Ring Parameters:
| Parameter | Pii (Si) | CVD Silicon Carbide (SiC) |
| Densitas (g/cm) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Scelerisque Conductivity (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Scelerisque Expansion Coefficiens (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Modulus elasticus (GPa) | 150 | 440 |
| duritia | inferiora | Superius |
Vestibulum Processus SiC Focus Annulorum
In apparatu semiconductoris, CVD (Vaporis Chemical Depositio) communiter adhibetur ad partes SiC producendas. Focus circuli fabricatur deponendo SiC in figuras specificas per depositionem vaporis, deinde processus mechanici ad formam producti finalem. Ratio materialis depositionis vaporis post multa experimenta figitur, parametris quasi resistivitatis consistentis. Attamen variae etching instrumenti umbilicos anulos variis resistivitatibus requirere possunt, nova experimenta materialia necessaria pro singulis specificatione, quae est tempus consumens et pretiosas.
per eligensSiC focus annulose*Semicera semiconductor, clientes beneficia consequi possunt cyclorum substitutorum longioris ac superiorum observantia sine aucta pecunia substantiali.
Celeri Scelerisque Processing (RTP) Components
CVD SiC eximiae possessiones thermarum aptam faciunt applicationibus RTP. RTP, inclusis margines annulis et platens, beneficio CVD SiC. Per RTP, pulsus intensus caloris singulis laganis per breves durationes applicatur, et sequitur refrigerationem rapidam. CVD SiC margines annuli, tenues et massae scelerisque humiles habentes, non retinent significantes calorem, quos non patitur processus calefactionis celeris et refrigerationis.
Plasma Etching Components
CVD SiC alta resistentia chemicae facit eam idoneam ad applicationes engraving. Multae cubicularia etching CVD SiC bracteae gasi distributae utuntur ad gasorum etchingum distribuendum, milia parvorum foraminum continentes pro dispersione plasmatis. Alternis materiis comparatus, CVD SiC inferiorem reactivum cum vaporibus chlorinis et fluorinis habet. In siccis engraving, CVD SiC componentibus ut circuli focus, ICP platens, annuli limes, et imbres vulgo utuntur.
SiC annuli umbilici, cum intentione applicata pro plasmate posito, satis conductivity habere debent. Typice factum ex siliconibus, annuli umbilici obnoxii sunt gasorum reactivorum fluorinorum et chlorinorum continentium, ad corrosionem inevitabilem ducentes. SiC annuli focus, cum resistentia superiori corrosioni, longiores pannulas praebent anulis Pii comparati.
Lifecycle Comparatio:
· SiC Focus Annulorum:Reponatur singulis diebus XV ad XX.
· Silicon Focus Annulorum:Reponatur singulis diebus X ad XII.
Quamvis SiC annuli cum 2 ad 3 temporibus pretiosiores quam anuli siliconis, cyclus postea extensus reducit altiore componentium sumptibus subrogatorum, sicut omnes partes in cubiculi reponuntur simul cum cubiculi anuli reposito umbilico aperiuntur.
Semicera Semiconductor's SiC Focus Annulorum
Semicera Semiconductor SiC annulos umbilicos praebet pretia illis anulorum Pii iuncta cum plumbo tempore 30 circiter dierum. Semicera's SiC umbilici circulis in plasma etching apparatu integrando, efficientia et longitudinum signanter emendantur, altiore sumptuum sustentatione minuendo et efficientiam productionem augendo. Praeterea Semicera mos resistentiae umbilicum anulorum ad resistentiam specificae requisitis occurrere potest.
Anulos focus SiC eligens e Semicera Semiconductor, clientes beneficia consequi possunt cyclorum substitutorum longioris et observantia superiori sine aucta substantiali pecunia.
Post tempus: Iul-10-2024