Processus Basic Introductio Processus SiC Epitaxial

Iaculum epitaxiale singulare est velum crystallinum in laganum processum itaxiale concretum, et laganum laganum et epitaxiale subiectum laganum epitaxiale appellatur.Silicon carbidum epitaxiale crescens in strato carbide pii conductivo substrato, carbide pii laganum epitaxiale homogeneum ulterius praeparari potest in diodes Schottky, MOSFETs, IGBTs et aliae machinis potentiae, inter quas 4H-SiC substratum est frequentissime.

Propter diversum processum fabricandi carbide Pii de fabrica potentiae et de fabrica potentiae traditae silicon, non potest directe fabricari in carbide pii una materia crystalli.Additional summus qualitas materiae epitaxialis in uno cristallo substrato conductivo augeri debet, et variae cogitationes in strato epitaxiali fabricari debent.Qualitas igitur iacuit epitaxial plurimum valet in operando cogitationis.Emendatio exsecutionis diversae virtutis machinis etiam altiora requisita proponit pro crassitudine epitaxialis tabulati, intentionem et defectus doping.

Fig.1. Relatio inter intentionem doping et crassitudinem epitaxialis stratis unipolaris machinae et voltage claudendi

Praeparatio methodi stratis epitaxialis SIC maxime includunt methodum incrementum evaporationis, incrementum liquidum Phase epitaxialis (LPE), radius hypotheticus incrementi epitaxialis (MBE) et depositionis vaporum chemici (CVD).Nunc depositio vapor chemicus (CVD) est principalis methodus adhibita magnarum productionis in officinis.

Fig.2. Comparatio methodorum praeparationis principalis epitaxialis tabulatum

In axe off-axis {0001} quodam angulo substratus, ut in Figura 2(b) ostensum est, densitas gradus superficiei maior est, et magnitudo gradus superficiei minor est, et nucleatio crystalli non facilis est. in superficie gradatim occurrunt, sed saepius in puncto passi bus occurrit.Hoc in casu, una tantum clavis nucleans est.Ergo iacuit epitaxialis perfecte potest replicare positionem ordinis subiecti, ita removendo problema multiformi coexistentiae.

Fig.3. Physica processus schematis de 4H-SiC gradum control epitaxy methodi

Fig.4. Conditiones criticae ad CVD incrementum per 4H-SiC epitaxy methodi gradatim continentes

Fig.5. Comparatio incrementi sub diversis fontibus Pii in 4H-SiC epitaxy .

In praesenti, technologia carbida pii technica epitaxia relative matura est in applicationibus mediis et mediis intentionibus (ut 1200 volt machinis).Crassitudo uniformitas, doping concentratio uniformitatis et defectus distributio stratis epitaxialis ad bonum comparationem pervenire potest, quae basically occurrit necessitatibus mediae et infimae intentionis SBD (Schottky diode), MOS (metal oxydi semiconductoris agri effectus transistoris), JBS ( coniunctas Diod) et alia pagella.

Tamen, in campo pressurae altae, epitaxial lagana adhuc opus est ut multas provocationes superet.Exempli causa, ad machinas quae 10,000 voltarum sustinendarum sunt, crassitudo tabulatorum epitaxialis circiter 100µm esse debet.Comparata cum humili intentione machinis, crassitudo stratorum epitaxialium et uniformitas intentionum dopingium multum differunt, praesertim aequalitas intentionis doping.Eodem tempore, triangulus defectus in strato epitaxial etiam altiore observantia cogitationis destruet.In applicationibus altae intentionis, rationes machinae bipolares uti solent, quae altam vitam exigunt in tabula epitaxiali, ut processus optimized ad melioranda vita paucitatem necessaria sit.

In praesenti epitaxia domestica est maxime 4 digitorum et 6 digitorum, et proportio epitaxiae carbidi magnae magnitudinis pii per singulos annos augetur.Magnitudo carbidi pii schedae epitaxialis maxime limitatur a magnitudine carbidi pii distent.Nunc, 6-unc, carbide silicone substrata commercium est, ergo epitaxiale carbide pii sensim transeuntium ab 4 digitis ad 6 pollices est.Cum continua emendatione carbidi Pii substrata praeparatio technologiae et capacitatis expansionis, pretium carbidi pii substrati paulatim decrescit.In compositione schedae epitaxialis pretium, substrata rationum plus quam L% sumptus, cum declinatione pretii subiecti, pretium schedae siliconis epitaxialis etiam decrescere expectatur.