2. Processus Experimentalis
2.1 Curatio Film tenaces
Observatum est directe creantem carbo carbonis vel compagem cum charta graphita in "SiC laganaobductis tenaces ad plures quaestiones ducuntur;
1. Sub vacuis conditionibus, cinematographica ad tenacesSiC laganaevolvit species scalelike ob significationem aeris remissionis, in porositate superficiei consequens. Hoc impedivit strata tenaces ex compage recte post carbonizationem.
2. Per compagem,laganumponenda est in una go super chartam graphitam. Si repositio fiat, inaequalis pressio potest reducere ad uniformitatem tenaces, negative impacting compagem qualitatis.
3. In vacuo operationibus, emissio aeris ex strato tenaces causa decorticavit et formatio plurium evacuationum in cinematographico tenaces, inde in defectibus iunctis. Ad has quaestiones compellare, prae-tenaces in remittitlaganumcompages superficiei utens laminam calidam post spinosam induendam commendatur.
2.2 Processus Carbonization
Processus creando amet ipsum inSiC semen laganumet ligaturam illam cum charta graphitica postulare carbonizationem in strato tenaces ad certam temperaturam ut compagem strictam curet. Incompleta carbonization of strato tenaces ducere potest ad eius compositionem in incremento, immunditias solvens quae cristallum incrementum qualitatem afficiunt. Ergo prospicere integram carbonizationem in strato tenaces est pendet summus compages densitatis. Hoc studium effectum temperationis in carbonizatione tenaces examinat. A uniformis iacuit photoresist applicatum estlaganumsuperficiem, et in fornacem fistulam sub vacuo positam (<Pa 10). Temperatura elevata est ad gradus praeparandos (400℃, 500℃, et 600℃) et 3-5 horas ad carbonizationem consequendam conservavit.
Experimenta indicantur:
In 400℃, post 3 horas, pellicula tenaces carbonizavit et obscurata rubra apparuit; nulla significativa mutatio post 4 horas observata est.
Ad 500℃, post 3 horas, cinematographicum nigrum vertitur sed adhuc lumen transmittitur; non significant mutationem post IV horas.
Ad 600℃, post 3 horas, cinematographicum nigrum sine luce transmissione vertitur, plenam carbonizationem significans.
Ita congruens compago temperatus necesse est esse ≥600℃.
2.3 Tenaces processus application
Uniformitas cinematographici tenaces est index criticus ad aestimandum processum applicationis tenaces et ad accumsan ligamen uniforme praestandum. Haec sectio explorat meliorem nent celeritatem et tempus efficiens diversis crassitudinibus tenaces pelliculae. uniformitas
u crassitudinis cinematographicae definitur proportio minimae crassitudinis cinematographicae Lmin ad maximam crassitudinem pelliculae Lmax super aream utilem. Quinque puncta in lagano deliguntur ut crassitudinem cinematographicam metirentur, et aequalitas calculata est. Figura 4 mensurae punctorum illustrat.
Magna densitas compages inter laganum SiC et graphiten, crassitudo cinematographici potioris tenaces 1-5 µm est. Pelliculae crassitudo 2 µm electa est, applicabilis utrique carbonis cinematographici praeparationis et processuum lagani/graphii chartarum compaginationis. Optimae parametri spin-figentes pro adhaesivis carbonisingis sunt 15 s ad 2500 r/min, et pro vinculo tenaces, 15 s ad 2000 r/min.
2.4 Processus Bonding
Per ligaturam lagani SiC ad chartam graphite/graphite, pendet ut aer et vapores organici generati in carbonizatione ex compage strati generantur. Gas eliminatio imperfecta consequitur in evacuationibus, ducens ad compagem non densam. Aer et vapores organici evacuari possunt per sentinam olei mechanici. Initio continua operatio sentinae mechanicae efficit, vacuum cubiculum suum terminum attingit, remotionem a compage iacuit integram permittens. Celeri temperatus oriri potest ne opportune gas eliminationem in carbonizatione temperatus summus, evacuationes formans in strato compage. Proprietates tenaces significantes fluxus in ≤120℃ indicant, stabilientes supra hanc temperiem.
Pressio externa applicatur in vinculo ad augendae densitatis tenaces cinematographici, faciliorem exactionem aeris et vapores organici, ex magno densitatis compage iacuit.
In summa, processus compages curvae in Figura 5 ostensa est evoluta. Sub pressione specifica, temperatura ad extrahendam temperiem (~120℃) elevatur et tenetur donec exstinctio perfecta est. Tum temperatura augetur ad temperamentum carbonizationis, pro debita duratione conservatum, sequitur refrigeratio naturalis ad gazophylacium, pressionis emissio, et amotio lagani religati.
Secundum sectionem 2.2, cinematographicum adhaetivum carbonizandum in 600℃ per supra 3 horas indiget. Ponatur ergo in curva processus compage T2 ad 600℃ et t2 ad 3 horas. Valores optimales ad compagem processus curvae, per experimenta orthogonalia determinata, studentes effectibus compaginationis pressionis, primi gradus calefactionis temporis t1, et secundi gradus calefactionis temporis i2 in iunctis eventibus, in tabulis 2-4 monstrantur.
Proventus indicavit:
Ad compagem pressionis 5 kN, tempus calefactionis minimam ictum in vinculo habuit.
Ad 10 kN, vacuum spatium in strato compage cum calefactione primitiva longiore decrevit.
In 15 kN, primo-scaena calefaciendi signanter extensa evacuationes extensa, eas tandem eliminat.
Secundus-stas calefactionis effectus temporis vinculi in orthogonalibus probatis non apparuit. Figens compagem pressionis in 15 kN et temporis primi calefactionis in 90 min, in secundo calefactionis tempore XXX, LX, et XC min omnes consecutae sunt in stratis densis compaginis vacuo-gratis, indicans tempus calefactionis secundae stadii. parum ictum compagem.
Valores optimales ad compagem processus curvae sunt: compages pressionis 15 kN, temporis calefactionis primitiva 90 min, temperaturae primitiva 120℃, secundi gradus calefactionis temporis 30 min, temperaturae secundi gradus 600℃, et temporis secundi gradus calefactionis. 3 Horat.
Post tempus: Iun-11-2024