Stratum oxydatum lagani siliconis est stratum oxydatum vel silicae in nuda superficie lagani siliconis formato sub condiciones calidissimae cum agente oxidizing.Scelerisque oxydi iacuit laganum Pii in fornace horizontali plerumque crevit, et incrementum temperaturae plerumque CM°C~1200°C increvit, et sunt duo modi incrementum "oxidationis humidae" et "oxidationis aridae".Stratum oxydatum scelerisque "crevit" iacuit oxydatum, quod altiorem homogeneitatem et altiorem vim dielectricam habet quam CVD stratum oxydatum depositum est.In accumsan scelerisque oxydatum optimum est stratum dielectric sicut insulator.Multis machinis silicon-substructis, stratum oxydatum scelestum magni ponderis munus agit sicut iacuit doping interclusio et superficies dielectricae.
Apicibus: Oxidation type
1. arida oxidatio
Pii reflectitur cum dolor, et accumsan oxydatum moveatur ad stratum basalem.Arida oxidatio peragi debet ad temperaturam 850 ad 1200 ° C, et rate incrementum est humilis, quod pro incremento portae MOS velit adhiberi potest.Cum magna qualitas, ultra-tenuis iacuit oxydatum siliconis, requiritur, oxidatio arida praeponitur oxidationis humidae.
Facultas oxidationis arida: 15nm~300nm(150A~ 3000A)
2. Infectum oxidatio
Haec methodus utitur mixtura hydrogenii et puritatis oxygenii ad ~M°C ardendam, ita vaporum aquae ad iacum oxydatum formandum.Quamvis oxidatio humida non potest producere stratum oxidationis quam optimum oxidationis sicut oxidationis aridae, sed satis utendum est sicut zona solitaria, comparata oxidatio aridae luculente commodum est quod habet maiorem incrementum rate.
Facultas oxidationis infectum: 50nm~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. Arida methodum - umida methodum - aridam methodum
Hoc modo, oxygenium purum siccum in fornacem oxidationis in primo gradu emissum est, hydrogenium in medio oxidationis additur, et hydrogenium in fine ad oxidationis perdurandum conditum est cum oxygenio puro sicco ad densiorem structuram oxidationis formandam, quam processus oxidationis communis humida in forma aquae vaporis.
4. TEOS oxidatio
| Oxidatio ars | Infectum oxidatio vel arida oxidatio |
| Diameter | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Crassitudo oxydatum | 100 ~ 15µm |
| tolerantia | +/- 5% |
| Superficies | Single Side Oxidation (SSO) / Duplex latus Oxidationis (DSO) |
| Fornax | Tubus horizontalis fornacis |
| Gas | Consectetuer et Oxygen gas |
| Temperature | 900℃ ~ 1200 |
| Refractivus index | 1.456 |
